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技術(shù)指標：

X射線光管：

管壓：5-50kV

管流：0-1mA

靶材：W靶

窗口：鈹窗

制冷方式：風冷

工作溫度：≤75℃

高壓發(fā)生器：

輸入電壓：24V

輸入大電流：

管壓：0-50kV

管流：0-2mA

燈絲大電壓：5V

燈絲大電流：3.

SDD半導體探測器：  

探測器輸入電壓：±12V，+5V

探頭窗口面積：25mm²

探頭窗口厚度：0.5mil

分辨率：140±5eV

探頭內(nèi)制冷溫度：<-40℃

自動對焦系統(tǒng)：

通用數(shù)字激光傳感器、CMOS激光傳感器

實現(xiàn)樣品高度的自動對焦。

MCA多道分析器：

輸入電壓：±12V，+5V

采樣頻率：100 KHZ

脈沖幅度：0-7.6V

A/D位數(shù)：12位

分析道數(shù)：2048道

準直器系統(tǒng)：

準直器：?0.1 mm(可根據(jù)要求選配)

濾光片：Mo(可根據(jù)要求選配)

高清晰攝像頭： 

傳感器類型：CCD（彩色）

接口：USB2.0

傳感器廠商：索尼

快門類型：面陣

光學尺寸：1/4英寸

有效像素：659(H)×494（V）

有效像素尺寸：3.69mm(H)×2.77mm(V)

像素尺寸：5.6μm(H)×5.6μmm(V)：

感應(yīng)度：0.58V（索尼標準）

顏色排列：RGB

幀率：30fps

快門速度：1/1538-1/30（秒）

RoHS設(shè)備檢測儀

儀器尺寸：

外觀尺寸： 576(W)×495(D)×545(H) mm

樣品室尺寸：500(W)×350(D)×140(H) mm ，

特殊測試時，可開蓋，對樣品長度制

檢測開槽口時，厚度10mm以上，寬度和深度沒有限制。

樣品臺尺寸：230(W)×210(D)mm

移動范圍：50(X)mm， 50(Y)mm

Z軸升降平臺升降范圍：0-140mm

X射線膜厚儀能滿足各種不同厚度樣品以及不規(guī)則表面樣品的測試需求，φ0.1mm的小孔準直器可以滿足微小測試點的需求。移動平臺可定位測試點，重復定位精度小于0.005mm。采用高度定位激光，可自動定位測試高度，定位激光確定定位光斑，確保測試點與光斑對齊。鼠標可控制移動平臺，鼠標點擊的位置就是被測點。高分辨率探頭使分析結(jié)果更加。良好的射線屏蔽作用，測試口高度敏感性傳感器保護。

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