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高頻發(fā)生器

工作頻率

27.12MHz

頻率穩(wěn)定性

≤0.05%

輸出功率

800—1600W

輸出功率穩(wěn)定性

≤0.05%

掃描分光器

光路

Czerny turner型

焦距

1000mm

光柵規(guī)格

離子刻蝕全息光柵，刻線密度4320 l/mm或3600 l/mm；刻劃面積（80×110）mm

線色散倒數(shù)

0.026nm/mm

分辨率

≤0.005nm(4320 l/mm)；≤0.008nm(3600 l/mm)

整機(jī)技術(shù)指標(biāo)

掃描波長范圍

190nm～500nm（3600L/mm光柵）；190nm～450nm（4320 l/m光柵）

重復(fù)性

RSD≤1.5％

穩(wěn)定性

RSD≤2.0％